“岸然，这事我必须当面和你说清楚，这七套设备虽然都是1.5微米制造工艺，不过其中有四台，和其他的有些区别。”
王岸然一下来了兴致。
“有什么不一样？”
“有三台使用的是高压汞灯i线365纳米光源，而另外四台……”
“张教授，你倒是说啊！”
张大京嘴角
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第一六四章 KrF 248nm紫外光刻机(1/1)
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